影響變送器精度的因素
1) 溫度偏差
對差動靜電電容式壓力傳感器而言,由于其屬于布局型傳感器,加之接納對稱丈量室布局,故在一樣通常應用場所對其精度影響較小,可以紕漏不計。
硅擴散式壓力傳感器屬于物性型傳感器,固然因其高敏捷度及簡樸的布局而得到了遍及應用并成為壓力傳感器聽生長趨向之一。但也存在著溫度我差的嚴峻缺點,因而在利用中必須消除溫度變革造成的偏差。溫度對硅擴散式壓力傳感器的影響重要是造成零點溫漂和敏捷度溫漂。零點溫漂是由于傳感器感壓膜片上擴散的各電阻條其溫度特性差別等而孕育發(fā)生,對外則體現(xiàn)為變送器的零點輸出隨溫度的變革而變革。敏捷度溫漂則是各電阻條的壓阻系數(shù)隨溫度變革差別等造成,對外體現(xiàn)為變送器的輸出特性曲線的斜率是溫度的函數(shù)。
2) 靜壓偏差
靜壓偏差是指在差壓式變送器中靜壓變革對差壓輸出的影響。對付差消息電電容式壓力傳感器,由于是兩室丈量布局,則兩丈量室不大概制造得完全對稱。同時施加在丈量室上的靜壓一定會對其造成影響。一樣通常環(huán)境下通過進步制造加工精度來只管即便減小靜壓偏差,沒有別的有用的賠償措施。對硅擴散式壓力傳感器有關(guān)研究評釋,靜壓重要影響變送器的零點輸出,而對變送器的敏捷度影響則可紕漏不計。
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