一、擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)組成：
 
1、由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)的信號，在實際應(yīng)用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號的傳送和記錄，就將傳感器與帶有標(biāo)準(zhǔn)信號輸入電路配套使用，使之輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號。此時輸出標(biāo)準(zhǔn)信號的傳感器就稱為變送器 。
 
2、簡而言之，變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測量膜盒和接口與處理電路（智能電路板）三大部分組成。
 
3、壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測量膜盒頂部，再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構(gòu)成了變送器的測量部，負(fù)責(zé)把工作現(xiàn)場待測的壓力信號轉(zhuǎn)換為電壓信號。另有電子線路板和液晶顯示表頭及接線端子構(gòu)成顯示部，負(fù)責(zé)把傳感器輸出的電壓信號通過放大、二線制信號處理變換4~20mA后，輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號 。

二、擴(kuò)散硅壓力變送器技術(shù)特點：

1、靈敏度高

擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機(jī)械動件損耗，因而分辯率極高。

2、可靠性高

擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級，膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級，且無機(jī)械磨損，無疲勞，無老化。平均無故障時間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。

3、精度高

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機(jī)械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。

三、使用擴(kuò)散硅壓力變送器時的注意事項：
 
1、溫度補(bǔ)償，擴(kuò)散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體，半導(dǎo)體具有很強(qiáng)的溫度特性，沒有溫度補(bǔ)償，測量誤差可能會比較大。
 
2、擴(kuò)散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚，千萬不能觸碰。
 
3、供電電壓要穩(wěn)定，傳感器內(nèi)部實際就是一個電橋，供電電壓波動會引起橋路輸出變化，影響測量精度。
 
4、要在額定電壓內(nèi)使用，過壓會導(dǎo)致傳感器損壞。
 
5、輸出端不要短路。